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菲希爾XDL210信息
點(diǎn)擊次數(shù):87 更新時(shí)間:2025-07-03 打印本頁(yè)面 返回

FISCHERSCOPE X-RAY XDL210菲希爾X射線測(cè)厚儀核心技術(shù)與性能

測(cè)量原理:運(yùn)用 X 射線熒光光譜法,實(shí)現(xiàn)對(duì)鍍層厚度的精準(zhǔn)測(cè)量,采用無(wú)損檢測(cè)方式,具備自動(dòng)聚焦功能,可保障樣品完整性與測(cè)量準(zhǔn)確性。

元素測(cè)量范圍:涵蓋 Cl(17)-U(92),最多可同時(shí)測(cè)量 24 種元素、23 層鍍層。

硬件性能:

 X/Y 平臺(tái):移動(dòng)范圍≥95x150mm,可用工作臺(tái)面≥420x450mm,能滿足多樣品放置與測(cè)量需求。

電動(dòng) Z 軸:支持手動(dòng) / 自動(dòng)聚焦,移動(dòng)范圍≥140mm,可適配不同高度樣品。

DCM 技術(shù):采用測(cè)量距離補(bǔ)償法(DCM),可實(shí)現(xiàn) 80mm 深度的腔體樣品遠(yuǎn)距離對(duì)焦測(cè)量。

高壓調(diào)節(jié):可變高壓支持 30KV、40KV、50KV 三檔調(diào)節(jié),可靈活應(yīng)對(duì)不同測(cè)試場(chǎng)景。

準(zhǔn)直器:配備 φ0.3 的圓形準(zhǔn)直器,可提升測(cè)量精度,還有 φ0.1mm、φ0.2mm 及長(zhǎng)方形 0.3mmx0.05mm 等可選準(zhǔn)直器。

X 射線探測(cè)器:采用比例接收器,確保信號(hào)穩(wěn)定接收。

攝像頭:高分辨率 CCD 攝像頭,放大倍數(shù) 40 - 160 倍,便于樣品觀察定位,沿初級(jí) X 射線光束方向觀察測(cè)量位置,有手動(dòng)聚焦、十字線(帶有經(jīng)過(guò)校準(zhǔn)的刻度和測(cè)量點(diǎn)尺寸)、可調(diào)節(jié)亮度的 LED 照明,激光光點(diǎn)用于準(zhǔn)確定位樣品。

軟件與數(shù)據(jù)處理

操作系統(tǒng)與軟件:基于 Windows 7 以上中文操作界面,搭載 WinFTM 專業(yè)測(cè)試軟件,配備連接 PC 和打印機(jī)的 USB 接口。

統(tǒng)計(jì)計(jì)算功能:數(shù)據(jù)組集成時(shí)間和日期功能,具備平均值、標(biāo)準(zhǔn)偏差、最大值、最小值等統(tǒng)計(jì)計(jì)算;支持公差范圍輸入,可計(jì)算 CP 和 Cpk 值,超范圍自動(dòng)報(bào)警提示。

校準(zhǔn)與判定:采用基本參數(shù)法,內(nèi)置 12 純?cè)仡l譜庫(kù),實(shí)現(xiàn)無(wú)標(biāo)準(zhǔn)片校準(zhǔn)測(cè)量;具備 MQ 值顯示,用于判斷測(cè)量程式與樣品匹配度,防止誤操作。

標(biāo)準(zhǔn)片:配備 12 種基準(zhǔn)純?cè)兀ˋg, Cu, Fe, Ni, Zn, Zr, Mo, Sn, W, Au, Pb, Cr)標(biāo)準(zhǔn)片。


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